Ústav fyziky materiálů AV ČR, v. v. i. > Seznam vybavení > Detail vybavení
Tergeo plazmový čistič
| Kontaktní osoba | doc. Ing. Stanislava Fintová, Ph.D. |
Kompaktní stolní plazmový čistič je určený k čištění SEM vzorků, aktivaci funkčních skupin u polymerů, kovů a keramiky, dosažení hydrofilní smáčivosti, zlepšení vazebné pevnosti při povlakování a zlepšení potiskovatelnosti povrchů a podobně.
Specifikace: 150 W, 13,56 MHz Tergeo s automatickým přizpůsobením impedance, dva MFC regulované plynové vstupy (lze použít např. vzduch, argon, kyslík), snímač tlaku, prachový filtr a rotační lamelová vývěva naplněná inertním olejem Krytox 1514 PFPE. Kompatibilní pro provoz v kyslíku. Minimální tlak 5-15 mTorr. Pracovní prostor je tvořen křemennou trubkou (tloušťka 5 mm) s vnitřním průměrem 110 mm a hloubkou 280 mm.
