Ústav fyziky materiálů AV ČR, v. v. i. > Seznam vybavení > Detail vybavení

Rastrovací elektronový mikroskop Tescan LYRA 3 XMU FEG/SEMxFIB - Lyra 1

Rastrovací elektronový mikroskop Tescan LYRA 3 XMU FEG/SEMxFIB s FEG zdrojem elektronů.

Mikroskop je vybaven detektory EBSD Symmetry a EDS Ultimmax a softwarem AZtec. Mikroskop disponuje také fokusovaným iontovým svazkem (FIB), který umožňuje zobrazování a řezání materiálu prostřednictvím iontů galia. FIB v kombinaci s mikromanipulátorem a GISem lze použít také pro přípravu vzorků pro TEM. Techniky: SE, BSE, EDS, EBSD, FIB, GIS