Ústav fyziky materiálů AV ČR, v. v. i. > Seznam vybavení > Detail vybavení

Rastrovací elektronový mikroskop Tescan LYRA 3 XMU FEG/SEMxFIB

Kontaktní osobaIng. Ivo Kuběna, Ph.D.

Rastrovací elektronový mikroskop Tescan LYRA 3 XMU FEG/SEMxFIB s FEG zdrojem elektronů.

Mikroskop je vybaven i sloupcem pro fokusovaný iontový svazek, mikromanipulátorem a systémem vstřikování plynů, může pracovat i v nízkovakuovém módu (LV SEM). Je vybavený EDS detektorem pro rentgenovou mikroanalýzu X-Max80 a EBSD detektorem fy Oxford Instruments s řídícím systémem Aztec.