Ústav fyziky materiálů AV ČR, v. v. i. > Seznam vybavení > Detail vybavení

Rastrovací elektronový mikroskop Tescan LYRA 3 XMU FEG/SEMxFIB - Lyra 1

Rastrovací elektronový mikroskop Tescan LYRA 3 XMU FEG/SEMxFIB s FEG zdrojem elektronů.

Řádkovací elektronový mikroskop Tescan LYRA 3 XMU FEG/SEMxFIB je vybaven detektory EBSD Symmetry pro krystalografickou analýzu a EDS Ultimmax a softwarem AZtec pro chemickou analýzu. Mikroskop nabízí také FIB, který umožňuje zobrazování a odprašovaní materiálu pomocí iontů galia s vysokou energií. FIB v kombinaci s mikromanipulátorem a GIS (GIS umožňujícím depozici Pt a W) lze použít také pro přípravu TEM lamel. Techniky: SE, BSE, EDS, EBSD, FIB, GIS