Ústav fyziky materiálů AV ČR, v. v. i. > Seznam vybavení > Detail vybavení

Rastrovací elektronový mikroskop Tescan LYRA 3 XMH FEG/SEM

Kontaktní osobaIng. Ivana Podstranská

Rastrovací elektronový mikroskop s FEG.

Mikroskop je vybaven EDS detektorem pro rentgenovou mikroanalýzu X-Max80 fy Oxford Instruments s řídicím systémem Aztec a dekontaminátorem-plasmovým čističem povrchu vzorků. Kromě standardních detektorů, SE a BSE, má i detektory umístěné v objektivové čočce, detektor prošlých elektronů a systém pro aplikaci záporného napětí na vzorek.