Ústav fyziky materiálů AV ČR, v. v. i. > Seznam vybavení > Detail vybavení

---

Rastrovací elektronový mikroskop Tescan LYRA 3 XMH FEG/SEM - Lyra 2

Rastrovací elektronový mikroskop Tescan LYRA 3 XMH FEG/SEM s FEG zdrojem elektronů.

Mikroskop je vybaven detektorem EDS Ultimmax a softwarem AZtec. Mikroskop disponuje také fokusovaným iontovým svazkem (FIB), který umožňuje zobrazování a řezání materiálu prostřednictvím iontů galia. FIB v kombinaci s mikromanipulátorem a GISem lze použít také pro přípravu vzorků pro TEM. Do komory mikroskopu lze vložit AFM systém Nenovision, čímž je možné kombinovat signály z AFM a SEM. Techniky: SE, BSE, in-beam SE, in-BSE, STEM-BF, STEM-DF, EDS, FIB, GIS, AFM