Rastrovací elektronový mikroskop Tescan LYRA 3 XMH FEG/SEM - Lyra 2
| Kontaktní osoba | doc. Ing. Stanislava Fintová, Ph.D. |
Rastrovací elektronový mikroskop Tescan LYRA 3 XMH FEG/SEM s FEG zdrojem elektronů.
Řádkovací elektronový mikroskop Tescan LYRA 3 XMH FEG/SEMxFIB je kromě komorových detektorů SE a BSE vybaven také detektory in-beam SE, in-beam BSE a STEM. Mikroskop nabízí také FIB, což umožňuje zobrazování a odprašování materiálu pomocí iontů galia s vysokou energií. FIB lze v kombinaci s mikromanipulátorem a GIS (GIS umožňujícím depozici Pt a W) použít také pro přípravu TEM lamel. Mikroskop je vybaven detektorem EDS X-Max a softwarem AZtec pro analýzu a kvantifikaci chemického složení. Do komory mikroskopu lze umístit také AFM systém Nenovision LiteScope, což umožňuje simultánní získávání signálů AFM a SEM. Techniky: SE, BSE, in-beam SE, in-beam BSE, STEM-BF, STEM-DF, EDS, FIB, GIS, AFM
