Ústav fyziky materiálů AV ČR, v. v. i. > Seznam vybavení > Detail vybavení

Phenom XL

Systém ThermoFisher Scientific Phenom XL Desktop SEM se zdrojem elektronů (CeB6) s dlouhou životností nabízí detektor SE, který umožňuje citlivé zobrazování povrchových detailů, čtyřsegmentový detektor BE, který poskytuje snímky a informace o chemickém kontrastu, a plně integrovaný systém EDS pro prvkovou analýzu. Software ChemiSEM generuje v reálném čase prvkové mapy přímo z živého obrazu SEM. Díky kombinaci SEM a EDS poskytuje software ultrarychlé a dynamicky integrované výsledky. Systém také poskytuje software Maps 3, korelační elektronovou mikroskopii a software pro automatizaci zobrazování napříč platformami. Mikroskop umožňuje analyzovat velké vzorky až do velikosti 100×100 mm s rozlišením 10 nanometrů. Techniky: SE, BSE, EDS