Ústav fyziky materiálů AV ČR, v. v. i. > Seznam vybavení > Detail vybavení

Rastrovací elektronový mikroskop Apreo ChemiSEM s FEG zdrojem elektronů

Systém Thermo Scientific ChemiSEM je vybaven detektory integrovanými do čoček a sloupce mikroskopu (in-lens and in-column detectors), hybridním pixelovým detektorem elektronů pro systém EBSD založeným na technologii Timepix počítající jednotlivé fotony a pokročilým detektorem EDS s technologií ChemiPhase, která umožňuje přesnou identifikaci fází v materiálu s přesností na pixel.

Systém ChemiSEM společnosti ThermoFisher ScientificTM je vybaven in-beam detektory a komorovými detektory. Hybridní pixelový systém TruePix Direct Electron Detection EBSD je vysokorychlostní, vysoce citlivý systém přímé detekce elektronů, který poskytuje komplexní sběr EBSD dat a jejich zpracování. Detektor TrueSight LX EDS s technologií ChemiPhase umožňuje přesnou identifikaci fází materiálu s pixelovou přesností a pomocí nového přístupu k segmentaci dat umožňuje téměř okamžitou identifikaci fází z živého obrazu. Systém také umožňuje ohřev (vysokovakuová ohřívací platforma, až 1000 °C) nebo mechanické zatížení (systém tahového modulu s úzkou vzdáleností vřeten 38 mm (kompatibilní s EBSD) s kapacitou až 5 kN) vzorků a provádění in-situ experimentů. Techniky: SE, BSE, in-beam SE, in-beam BSE, STEM-BF, STEM-DF, STEM-HAADF, EBSD, EDS, in-situ heating stage, in-situ loading stage