Ústav fyziky materiálů AV ČR, v. v. i. > Seznam vybavení > Detail vybavení

Rastrovací elektronový mikroskop Scios 2 DualBeam s FEG zdrojem elektronů a FIB

Thermo ScientificTM Scios 2 DualBeam je analytický rastrovací elektronový mikroskop s ultra vysokým rozlišením a fokusovaným iontovým svazkem (FIB-SEM).

SEM může pracovat při 30 keV v režimu STEM (pro získání strukturních informací) a také při nízkých energiích (pro získání detailních informací o povrchu bez nabíjení vzorku). Systém umožňuje 3D charakterizaci široké škály vzorků, včetně magnetických a nevodivých materiálů, zobrazení pomocí zpětně odražených elektronů (BSE) pro maximální materiálový kontrast a energiově disperzní spektroskopii (EDS) pro získání informací o chemickém složení. FIB v kombinaci s GIS a nanomanipulátorem umožňuje opracování materiálů a přípravu TEM lamel. Techniky:  SE, BSE, in-beam SE, in-beam BSE, EDS, STEM-BF, STEM-DF, FIB