Ústav fyziky materiálů AV ČR, v. v. i. > Seznam vybavení > Detail vybavení

Millbrook MiniSIMS

Toto zařízení je určeno pro chemickou analýzu povrchů a měření hloubkových koncentračních profilů v kovových materiálech pomocí metody SIMS.

Přístroj MiniSIMS s Ga zdrojem iontů je vybaven kvadrupólovým hmotnostním detektorem chemických prvků s možností detekce od atomového čísla 3. Analýza probíhá při cca 6kV/3nA a vakuu v řádu 10-7 mbarů. V přístroji je možné analyzovat vodivé vzorky maximálního rozměru ø12,5 x 6,5 mm ve statickém a dynamickém módu. Ve statickém módu je možné provádět povrchové chemické analýzy a mapování chemických prvků. Dynamický mód je určen pro měření hloubkových profilů chemických prvků (v hloubkách v řádu nm).