Ústav fyziky materiálů AV ČR, v. v. i. > Seznam vybavení > Detail vybavení

---

Přístroj pro přípravu příčných řezů svazkem iontů - Cross Section Polisher SM-09010, JEOL

Příprava příčných řezů z různých materiálů pro SEM pomocí svazku iontů argonu.

Přístroj umožňuje připravovat příčné řezy bez deformace nebo kontaminace ze široké škály materiálů – tvrdých, měkkých nebo kompozitních. Je využíván zvláště při studiu tenkých vrstev na podložkách nebo upravených povrchových vrstev materiálů, např. nitridací, plazmovými nástřiky aj.