Ústav fyziky materiálů AV ČR, v. v. i. > Seznam projektů > Detail projektu

---

Příprava uhlíkových mikro- a nanostruktur plazmovými technologiemi

Anotace

V projektu studujeme růst uhlíkových nanotrubek (CNT) a nanovláken (CNF) metodou plazmochemické depozice z plynné fáze (PECVD) a porovnáváme různé výboje (mikrovlnný, v.f. CCP a ICP, modifikovaný systém magnetronového naprašování). Cílem je také vyrobit CNT při nízké teplotě, v atmosférickém výboji a růst jednostěnných CNT. Dále je prováděna syntéza uhlíkových nanostruktur (strukturovaných polymerů, CNT a fullerenů) v pulzním v.f. doutnavém výboji. Studujeme vliv trvání pulzu na depozice. V dalším průběhu bude mikro- a nanokrystalický diamant deponován metodou PECVD a jeho vlastnosti budou kontrolovány změnou velikosti krystalitů a dopováním dalšími elementy, např. bórem. Nanokompozitní vrstvy obsahující CNT a CNF budou připravovány metodou PECVD. Vrtsvy budou studovány z hlediska mech., optických a elektrických vlastností. Uhlíkové nanostruktury budou připravovány se zřetelem na funkční zařízení (emitory, standardy pro odhadnutí tuposti AFM hrotu) and pro modifikaci materiálových vlastností povrchu (optických, mechanických a elektromagnetických). Výboje použité pro zmíněné procesy jsou studovány optickou emisní spektroskopií, hmotovou a iontovou spektroskopií a Langmuirovou sondou. Připravené materiály rovněž charakterizujeme pomocí TEM a SEM, AFM, FTIR a Ramanovskou spektroskopií, RBS a ERDA, XPS, XRD. Bude vytvořena skupina spolupracujících českých laboratoří pro pokročilou charakterizaci materiálů.