Ústav fyziky materiálů AV ČR, v. v. i. > Seznam projektů > Detail projektu

Příprava uhlíkových mikro- a nanostruktur plazmovými technologiemi

ŘešitelRNDr. Jiří Buršík, CSc., DSc.
Číslo projektu202/05/0607
AgenturaGrantová agentura České republiky
Doba řešení2004-12-31 - 2007-12-30

Anotace
V projektu studujeme růst uhlíkových nanotrubek (CNT) a nanovláken (CNF) metodou
plazmochemické depozice z plynné fáze (PECVD) a porovnáváme různé výboje (mikrovlnný,
v.f. CCP a ICP, modifikovaný systém magnetronového naprašování). Cílem je také vyrobit CNT při
nízké teplotě, v atmosférickém výboji a růst jednostěnných CNT. Dále je prováděna syntéza
uhlíkových nanostruktur (strukturovaných polymerů, CNT a fullerenů) v pulzním v.f. doutnavém
výboji. Studujeme vliv trvání pulzu na depozice. V dalším průběhu bude mikro- a nanokrystalický diamant deponován metodou PECVD a jeho vlastnosti budou kontrolovány změnou velikosti krystalitů a
dopováním dalšími elementy, např. bórem. Nanokompozitní vrstvy obsahující CNT a CNF budou
připravovány metodou PECVD. Vrtsvy budou studovány z hlediska mech., optických a elektrických
vlastností. Uhlíkové nanostruktury budou připravovány se zřetelem na funkční zařízení (emitory,
standardy pro odhadnutí tuposti AFM hrotu) and pro modifikaci materiálových vlastností
povrchu (optických, mechanických a elektromagnetických). Výboje použité pro zmíněné procesy
jsou studovány optickou emisní spektroskopií, hmotovou a iontovou spektroskopií a Langmuirovou
sondou. Připravené materiály rovněž charakterizujeme pomocí TEM a SEM, AFM, FTIR a
Ramanovskou spektroskopií, RBS a ERDA, XPS, XRD. Bude vytvořena skupina spolupracujících
českých laboratoří pro pokročilou charakterizaci materiálů.


Nic nebylo nalezeno / nothing found